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公司新闻

迅达罗茨真空泵漏率的测试
    迅达真空泵告诉您:漏率系指在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。
    罗茨真空泵的漏率与极限压力有直接关系,在极限压力下运转的罗茨泵中,它的气体状态已接近分子流,气体的分子自由程较大,气体分子不易穿透转子与各相关零部件之间的间隙,也就是说此时间隙对极限压力的影响已极其微小,能影响极限压力的因素就只有漏率了。所谓罗茨泵达到了极限压力,就是渗漏进入罗茨泵的气体与罗茨泵抽出的气体达到了动态平衡,进入了相对稳定状态。
    罗茨泵漏率的测试方法有关阀测漏法和氦质谱测漏法二种。
    一、关闭测漏法:
    1、测试装置:测试装置由罗茨泵、测试罩、前级泵、真空阀门、管路和真空计组成
    2、测试步骤:关闭微调阀,打开挡板阀,启动前级泵和罗茨泵,达到极限压力后继续运转4 h,以使罗茨泵和测试罩充分除气。关闭罗茨泵与前级泵之间的挡板阀,当测试罩内压力上升到预定的压力P1时,记取时间t1,压力继续上升到P2(≤13 Pa)时,记取相应时间t2。
    二、氦质谱测漏法
    使用氦罩法,利用检漏罩将被试罗茨泵罩起来,检漏时将罗茨泵内和检漏罩内空气抽除,然后向罩内充入氦气,并使充入的氦气压力等于大气压,以检漏仪输出信号表征被试泵的漏率。