迅达真空泵认为这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,负气体连续不断地从泵的进口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
一、分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式:
1、牵引分子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口,因此,是一种动量传输泵。
2、涡轮分子泵:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。
3、复合分子泵:它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
二、喷射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可具体地分成以下几种:
1、液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。
2、气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
3、蒸气喷射真空泵:以蒸气(水、油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。
三、扩散泵:以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:
1、自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
2、分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进进高真空工作的喷嘴,而蒸气压强较高的工作液蒸气进进低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
四、扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
五、离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。