一、前期油泵泵的维护
1、迅达真空泵厂要求泵必须由接受过适当培训的技术员来维护；
2、确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉；
3、做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度；断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外；
4、在运转过程中，泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害；
5、维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封；
6、不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂。
二、检查前置真空泵油位：
根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。
1、透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在最低限以上，最高限以下。
2、如果油位在最低限或低于最低限，打开加油孔，加油至最高限，如加得过满可从出口放掉点。
3、如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
三、油受到污染时：
1、取下加油孔的塞子，倒进干净的油。
2、重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。
3、断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。
4、重复上述步骤直到将泵清洗干净。
5、塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
6、装上新油，直到油位达到MAX位置附近。
7、等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。
四、检查和清洁前置真空泵入口过滤器
1、旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。
2、用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。
3、重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。
五、清洗马达风扇周围：
1、关掉泵，断开其与电源的连接。
2、利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物。
迅达真空泵要求注意：如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。